回轉（zhuǎn）窯氣相組成法兩種方法

   回轉窯氣（qì）相（xiàng）組成法有：蒸發凝聚法(物理氣相堆積，PVD)和化學（xué）氣相堆積(CVD)法。由氣相組成分（fèn）出的固體形狀有晶須、薄膜、晶粒和微細粉末等（děng）。此文章中我們（men）講述兩種方法的各自用途。

   兩種方（fāng）法（fǎ）介紹具體的內容（róng）：

   1.氣相（xiàng）反（fǎn）應法是始末金屬化合物蒸氣的化學反應而（ér）組成的方（fāng）法。在SiC、Si3N4等的組成中運用該（gāi）方法.河南興農固相（xiàng）組成當然也恰當廣泛，但最近在製造SiC和Si3N4時，也（yě）能夠看出這種氣相反應法的運用實例。

  2.蒸發凝聚法與液相組成法中（zhōng）的溶液噴（pēn）霧法一樣，將材料在高溫下氣化，用電弧、等離（lí）子體進行急冷而使其凝縮為（wéi）微細（xì）粉料。

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